АО «ЦНИТИ «Техномаш» получил патент на изобретение «Способ получения бензоциклобутена методом пиролитического расщепления четвертичных аммониевых солей 2-метилбензил-(триалкил)аммоний хлоридов».
Новые фото- и термоотверждаемые материалы на основе производных бензоциклобутена в электронике и микроэлектронике могут играть исключительно важную роль для создания:
• Изоляционных структур в кремниевых, арсенид-галлиевых и керамических устройствах, в том числе СВЧ диапазона;
• Изоляции мезоструктур (вместо окиси кремния) с низкотемпературным (не более 300ºC-400º C) нанесением;
• Изоляции лазерных структур в квантовых каскадных лазерах;
• Изоляционных слоев в многофункциональных высокоплотных электронных модулях, созданных по технологии 3D-микросистем ;
• Полимерных изоляторов для оптронов (в т.ч. с возможностью фотоотверждения), обеспечивающих высокие напряжения пробоя (не менее 3кВ при толщине 0.5 мм);
• Изоляторов в устройствах микромоторов и микрогенераторов;
• Многослойных волноводных структур, обеспечивающих сопряжение с оптоэлектронным интерфейсом для оптических входов-выходов «системы на кристалле»;
• Покрытий высокочастотных печатных плат для телекоммуникаций;
• Фоторезистов для плазмохимического и ионного травления при получении прецизионных элементов топологии микросхем и коммутационных плат.
Заявка на патент была подана в результате выполнения ОКР «Разработка технологии формирования многослойных полимерных волноводных систем, обеспечивающих сопряжение с оптоэлектронным интерфейсом для оптических входов-выходов «системы на кристалле», шифр «Планар».
Ссылки на публикации:
